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为了获得大深径比的微细阵列孔,以铝作为基体金属并采用铸造法制备了微细阵列孔.根据预期阵列孔的结构,编排并固定预制体的孔芯.将预制......
微小孔和阵列孔加工一直是机械加工领域的难题之一。微细电火花加工技术的非接触式加工、无明显宏观作用力和“以柔克刚”等特点,使......
对微细阵列轴孔的电火花、电化学组合加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花线切割机加工出3×3至10×10系列方形阵列电......
氧化锆陶瓷因具有耐高温、耐磨性好、化学稳定性好等特性,已深入应用于各种半导体生产过程,但氧化锆陶瓷属于典型的难加工材料,传......
随着微机电系统的迅速发展,微喷部件在纺织、微电子技术等领域的应用愈来愈广,对其制造精度的要求越来越高。微细电火花加工方法具......
随着微细加工和纳米科学与技术的发展,以形状尺寸小、操作尺寸小为特征的微机械已成为人们在微观领域认识世界和改造客观世界的一......
微细阵列孔结构在工业中有着广泛的应用,其加工方法有超声加工、电解加工、激光加工、电子束加工及电火花加工等。微细电火花加工......
为了减小多晶硅表面的反射率,采用皮秒激光在多晶硅片表面制备阵列孔绒面,分析了激光参数对制绒深度的作用机理,优选出实验参数:激......
选用不锈钢、铜和铝三种金属薄膜作为实验材料,厚度10~50μm.对不锈钢、铜和铝三种金属薄膜进行飞秒激光加工,研究了所形成的微纳......