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隔热背腔相关论文
隔热背腔式柔性热膜探头的设计及其微加工
为了进一步提高器件性能,设计一种新型隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构。借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定背腔结构参......
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