集束型装备相关论文
针对带滞留时间约束的混流集束型晶圆制造装备调度问题,为了优化晶圆加工排序和机械手搬运作业排序,提出了改进差分进化算法.通过......
研究了加工多类型晶圆和有滞留时间约束的集束型装备调度问题,其中包括晶圆排序和双臂机械手搬运作业排序两类问题.分别推导了三类......
摘要：考虑有滞留时间约束的集束型晶圆制造装备调度问题，其调度要同时考虑晶圆加工排序和机械手搬运作业排序，给出了基于图论的分支定......
针对因集束型装备配置非常灵活,运行模式多样造成的对装备性能分析困难的问题,提出一种用随机Petri网对集束型装备的运行过程进行......
针对半导体制造中的有滞留时间约束集束型装备调度问题,以最小化生产周期为目标,建立问题的数学模型,提出基于机械手搬运作业顺序......
考虑机械手在输入装载室、加工模块和输出装载室三者间搬运时间和空载时间下,求解半导体制造中具有滞留时间约束的集束型装备调度......
集束型装备是集成电路的生产线上的标准装备,集束型装备一般是3部分来组成:加工晶圆的加工模块、晶圆机械手、输入/输出晶圆的晶圆......
