静电封接相关论文
叙述了真空静电封接技术的工艺过程 ,对封接结果做扫描电子显微镜 (SEM)断面观察 ,并对封接件断面的元素浓度的深度分布用二次离子......
采用硅－硼硅酸盐玻璃静电封接技术、单晶硅微米级减薄技术和金属膜制做技术，设计了一种新型ＳＯＩＭ结构微压传感器，并对其结构、特性和制作过......
对于新近发展起来的新一代结构型力敏器件,如硅电容力敏器件、电容型加速度力敏器件等,常规的静电封接工艺已无法满足其小间隙(间......
静电既有危害,也能应用。本文介绍了静电封接在压力传感器生产中的应用,分析了原理,介绍了土艺、制备和新的封接方法,对提高产品质......
