静电调修相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

静电调修相关论文

基于静电调修的圆盘结构MEMS陀螺仪

设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工......

期刊

微机电系统(MEMS)陀螺仪静电调修圆盘结构阳极键合 micro-electro-mechanical system(MEMS)gyroscopeelec

静电驱动微机械陀螺仪的研究

微机械陀螺仪是一种重要的惯性仪器,主要用来测量物体的旋转角速度或角加速度。它在消费电子、汽车、国防制导、航空航天等领域具......

学位

微机电系统 MEMS陀螺仪静电调修多环结构阳极键合

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