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非平衡磁控溅射梯度过渡层相关论文

掺杂金属的类金刚石薄膜的制备及性能研究

本文采用非平衡磁控溅射结合无灯丝长条离子源复合沉积技术，在20CrMo、40Cr、YG6以及单晶硅片基体上沉积了掺钨的类金刚石(W-DLC)和......

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