非晶氟化碳相关论文
以C4F8为源气体,Ar为稀释气体,用电子回旋共振化学汽相淀积的方法制作了非晶氟化碳薄膜;使用XPS和FTIR分析薄膜的化学组分和成键类......
针对客户声称的表面覆金刚石膜（DF）的合成立方氧化锆进行常规宝石学检测，结果发现，样品为覆膜合成立方氧化锆，但样品表面的覆膜层硬度低......
C4F8和CH4为源气体，采用电子回旋共振等离子体化学汽相沉积（ECR-CVD）方法，在不同气体混合比条件下沉积了非晶氟化碳（a-C：F）薄膜低k层间介......
