非晶硅晶化相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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铝诱导层交换的研究进展

铝诱导层交换是指铝-非晶硅双层膜经低温退火后，铝和非晶硅层的位置发生交换，导致在原来铝层的位置处形成一完整连续的多晶硅层．这一......

期刊

铝诱导层交换非晶硅晶化低温退火俄歇电子能谱 X-射线衍射 aluminum-induced layer exchange amorphous silic

非晶硅薄膜晶化过程的研究

多晶硅薄膜具有较高的电迁移率和稳定的光电性能,是制备微电子器件、薄膜晶体管、大面积平板液晶显示的优质材料。多晶硅薄膜被公......

期刊

硅薄膜非晶硅晶化固相法激光诱导晶化磁控溅射化学气相沉积

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