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采用过滤阴极真空电弧技术以相同的工艺条件在单晶硅衬底上制备了不同厚度的四面体非晶碳薄膜.利用表面轮廓仪测试薄膜的厚度和应......
采用过滤阴极真空电弧技术制备非晶金刚石薄膜,在-190～600 ℃范围研究非晶金刚石薄膜的温度敏感性.利用液氮泵在Linkam试验台上冷却......
为了深入理解过滤阴极电弧沉积非晶金刚石薄膜的光学性质，利用光谱椭偏仪研究了薄膜光学常数随测试偏振光波长变化的谱学关系，进而分......
为了有效保护硫化锌等红外光学元件并提高其在工作波段的透过率,根据薄膜光学原理进行增透设计,从而获得膜系光学参数;采用射频磁......
采用过滤阴极真空电弧技术,通过施加不同衬底偏压制备了非晶金刚石薄膜.利用纳米压痕仪和光谱椭偏仪测试薄膜的力学性能和光学性能......
