靶材组织相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

靶材组织相关论文

铟镓锌氧化物薄膜制备及溅射靶材组织变化研究

铟镓锌氧化物（IGZO）薄膜具有高透射率、宽光学带隙、高电子迁移率和低温制备工艺等优点,是具有发展前景的透明导电氧化物（Transparent......

学位

IGZO薄膜射频磁控溅射靶材组织光电性能元素组分

铌钽合金化对钼合金靶材组织与薄膜结构的影响

采用模压和真空热压烧结工艺制备了钼铌和钼钽两种钼合金靶材,以薄膜半导体-液晶显示器(TFTLCD)无碱玻璃为衬底,磁控溅射沉积了不......

期刊

钼靶材铌钽合金化靶材组织薄膜结构方阻

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