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用MonteCarlo法模拟大型磁控溅射器的膜厚分布
在大型薄膜生产设备中,膜厚的横向均匀性是一项重要指标。本文提出用MonteCarlo 方法模拟大型磁控溅射器膜厚横向分布的计算方法,计算了靶的......
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磁控溅射
Carlo
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总压强
靶长
膜厚分布
MC方法
横向分布
均匀性
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