本文针对霍尔推力器内等离子体与壁面材料相互作用形成的非中性鞘层区域建立二维物理模型,对鞘层内电子与壁面碰撞频率及近壁传导......

稳态等离子推进器（SPT）是一种最成熟、应用最广的电推进发动机，我国正积极开展研究电推进技术的应用。体积很小的推进器通道内部有着......

随着大规模及超大规模集成电路的迅猛发展，碳氟等离子体刻蚀SiO2以其特有的高刻蚀速率、高选择性和高各向异性在现代集成电路制造业......

微电子机械系统(Micro Electro-Mechanical Systems MEMS)制造中，等离子体刻蚀已经成为最关键的流程之一并日渐受到人们的关注，因为......

射频(Radio-frequency:RF)大气压辉光放电(Atmospheric Pressure Glow Discharge:APGD)具有均匀稳定、放电电压低、等离子体密度高......

随着大规模及超大规模集成电路的迅猛发展,碳氟等离子体刻蚀Si02以其特有的高刻蚀速率、高选择性和高各向异性在现代集成电路制造......