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多弧离子镀TiN和(TiZrCr)N膜中宏观颗粒的SEM分析

宏观颗粒是阻碍电弧离子镀广泛应用的障碍.它们镶嵌在膜层中,或散布在膜层表面.引起薄膜微区成分和结构的突变,对于工具镀来讲不一......

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