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随着大规模集成化芯片上的器件尺寸微型化,为微小尺度的各种功能器件关键参数的直接提取及建立一种在线的综合检测与分析技术变得......
本论文对MOS器件可靠性领域的重点问题进行了研究,主要包括三个方面的内容:驰豫谱技术及其在栅介质退化和失效研究中的应用;时间相关......
本文基于差值取样谱定理,指出一种用于同时确定少子寿命及表面产生速度的新方法---瞬态电容驰豫谱方法,该方法利用谱的峰值位置和高度能......
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本文利用PCS技术(Photon Correlation Spectroscopy)研究直链淀粉溶液从溶胶到凝胶胶凝过程的弛豫谱。发现其弛豫谱符合伸展指数规......
本文用单陷阱电荷俘获模型研究了电场调制效应对氧化层电流弛豫谱(Oxide CurtentRelaxation Spectroscopy)——简称 OCRS的影响.给......