高功率调制脉冲磁控溅射相关论文
同质异构纳米多层涂层是一类有潜力同时兼具硬度和韧性的材料体系,有望克服涂层异质界面价电子的Friedel振荡导致的韧性降低问题。......
硬质涂层增韧始终是难以克服的技术挑战,价电子的Friedel振荡是限制异质界面的纳米多层或纳米复合硬质涂层增韧的关键。本文采用高......
学位
目的研究Ti6Al4V基TiAlSiN涂层在800℃下的抗循环氧化性能。方法采用高功率调制脉冲磁控溅射技术,通过调节N2/Ar的流量比fN2,在Ti6......
目的研究不施加基片温度和固定Ar/N2流量比为64/16的条件下,微脉冲占空比、充电电压特征工艺参数与负偏压对NbN涂层相组成、微结构......
采用四靶闭合场非平衡磁控溅射装置高功率脉冲沉积金属薄膜,研究高功率调制脉冲磁控溅射电源的放电特性。脉冲电源充电电压V、调制......
会议
采用高功率调制脉冲磁控溅射Al/(Al+Ti)原子比(x)分别为0.25、0.5和0.67的TiAlSi合金靶,溅射功率1~4kW,氮气分压25%,工作气压0.3Pa......
采用闭合场非平衡脉冲磁控溅射沉积碳氮化铬薄膜,利用EPMA、XPS、GIXRD、FESEM和HRTEM表征了薄膜的成分与结构,纳米压痕仪、Rockwe......
采用高功率调制脉冲磁控溅射Al/(Al+Ti)原子比(x)分别为0.25、0.5和0.67的TiAlSi合金靶,溅射功率1~4kW,氮气分压25%,工作气压0.3Pa......
英文论文
