高性能衍射微透镜相关硕士博士期刊学术论文

采用单步光刻和湿法腐蚀工艺，低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量......