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高真空封装相关论文
微机械陀螺测控系统研究
随着MEMS技术的快速发展,MEMS陀螺凭借自身质量轻、体积小、功耗低、耐用性好、成本低等优点,广泛应用在民用、军用领域,但由于受......
学位
微机械陀螺
数字闭环系统
高真空封装
模拟闭环检测
微机械陀螺检测与自动控制系统研究
本文主要对MEMS陀螺的检测和自动控制技术进行研究,分别对高真空封装陀螺测试技术、自动实时模态匹配技术和检测力平衡闭环控制技术......
学位
微机械陀螺
模态匹配
检测闭环
高真空封装
实时控制
自动控制系统
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