高纯气相关硕士博士期刊学术论文

本文阐述了高纯水、高纯气和高纯化学试剂的质量对兆位电路的影响,研究了高纯水中颗粒、金属、非金属、细菌以及总有机炭对VLSI性......

期刊

利用放电氦离子化检测器实现各种高纯气和配制的不同标准气的分析。...

期刊

概述了化工、材料、冶金和电子行业中气体净化用脱氧剂的研究进展,主要包括脱氧机理、脱氧剂分类以及应用和开发情况。......

期刊

脱氧剂高纯气合成气净化

介绍了吸附法脱除N2的工业应用,包括空分行业中O2/N2分离、煤层气和天然气中CH4的浓缩、高纯气中N2的深度脱除以及制N2工艺.N2的吸......

期刊

本文综述了近十几年来电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）在半导体行业高纯材料分析方面的应用，分别讨论了IC硅片表面、光伏硅材料、三氯氢......

期刊