高纯磷烷相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

高纯磷烷相关论文

高纯磷烷的研制

用亚磷酸热分解法制备的磷烷，经分级冷冻、真空蒸馏后，除去H2、N2、O2、CH4及大部分H2O等杂质，然后进一步用A型分子筛及高效干燥剂吸......

期刊

高纯磷烷亚磷酸热分解分子筛吸附干燥

磷烷中砷烷的选择性分解催化性能研究

研发制备NATA-PH-1型催化剂,能够高效的将磷烷中约100×10^-6砷烷去除到仪器检测限30×10^-9以下,完全能够达到半导体制程......

期刊

高纯磷烷电子特气砷烷气体纯化

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