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高速高精度运动定位相关论文
基于低阻尼压电纳米定位平台的高速高精度运动控制方法研究
随着纳米技术的兴起和发展,以压电纳米定位平台为核心组成部分的精密定位系统已被广泛应用于原子力显微镜、光栅刻画机、超精密加......
学位
压电纳米定位平台
输入整形
积分谐振控制
高速高精度运动定位
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