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高高宽比相关论文

微纳系统电子束光刻关键技术及相关机理研究

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微纳系统电子束光刻电荷积累高高宽比邻近效应

高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作

相对于软X射线显微成像,硬X射线显微成像对菲涅尔波带片的吸收体厚度提出了更高的要求。采用电子束光刻和X射线光刻复制的方法,在......

期刊

菲涅尔波带片硬X射线 X射线光刻电子束直写高高宽比

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