鲁棒整定相关论文
当前火电厂中广泛采用的控制方式依然是PID 控制为主,PID 参数的最佳整定对确保控制系统的控制品质起着至关重要的作用,然而当前在......
浸没式光刻机是迄今为止在45nm以下集成电路生产线上唯一得到广泛使用的半导体制造设备，浸没流场非接触式密封是浸没式光刻的核心技......
为克服常规方法中可调参数试凑选择的盲目性,提出一种基于最大灵敏度的控制器鲁棒整定方法。采用内模控制设计主、副控制器,且得到......
