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齐平封装相关论文

压阻式高频动态高压传感器设计与冲击波超压测量

阐述了用于冲击波超压测量的压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的内径为2 mm的周边固支圆平膜片微型敏感元件......

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高频动态压力传感器冲击波超压齐平封装固有频率 MEMS high frequency dynamic pressure sensor shock wave

压阻式高频动态高压传感器设计

阐述了压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百千赫兹的固有频率，刚性......

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高频动态齐平封装固有频率 high frequency dynamic fiat package natural frequency

几种高温高频压力传感器的研制与开发

本文介绍了几种在高温工况下使用的动态压力传感器的设计、研制与开发,它们都是采用基于MEMS技术的SOI技术制作的,低至零频,高至数......

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高温压力传感器动态频响 MEMS技术 SOI技术齐平封装

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