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本文介绍了用有限元法分析计算大型离子束刻蚀机的工作台扫描基准(真空室)的形变和工作台面的热载及受热形变,选择了合理的设计方案和补偿措施.
大型离子束刻蚀机工作台扫描基准和台面热载的有限元分析
【摘 要】
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本文介绍了用有限元法分析计算大型离子束刻蚀机的工作台扫描基准(真空室)的形变和工作台面的热载及受热形变,选择了合理的设计方案和补偿措施.
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室(合肥)
【出 处】
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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
【发表日期】
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2003年10期
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