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本文研究了一种新型的光波导阵列电光快速扫描器,分析了它的工作原理,分析了光波导阵列结构对输出光空间分布特性的影响,研究了器件的工艺制作过程及湿法腐蚀工艺的控制精度对器件性能的影响.并通过实验验证了器件的扫描特性,指出这种光波导阵列器件可以实现二维空间快速宽视场窄光束扫描.
一种新型光波导阵列电光快速扫描器的研制
【摘 要】
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本文研究了一种新型的光波导阵列电光快速扫描器,分析了它的工作原理,分析了光波导阵列结构对输出光空间分布特性的影响,研究了器件的工艺制作过程及湿法腐蚀工艺的控制精度对器件性能的影响.并通过实验验证了器件的扫描特性,指出这种光波导阵列器件可以实现二维空间快速宽视场窄光束扫描.
【机 构】
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信息产业部电子第十三研究所(河北省石家庄市)
【出 处】
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第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
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2002年3期
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