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会议论文
稳定高效非晶硅太阳电池
稳定高效非晶硅太阳电池
来源 :中国第六届光伏会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qaz370724qaz
【摘 要】
:
本文报道用“不间断生长/退火”FECVD技术,制备了含一定比例(~0.3)微晶成分的非晶硅膜.它具有较小的深缺陷态密度和较好的稳定性,用以制备的非晶硅单结太阳电池稳定效率达到8.
【作 者】
:
廖显伯
张世斌
王永谦
刁宏伟
孔光临
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所凝聚态物理中心表面物理国家实验室(北京)
【出 处】
:
中国第六届光伏会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
稳定高效
非晶硅膜
缺陷态密度
太阳电池
间断生长
稳定性
效率
微晶
退火
技术
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本文报道用“不间断生长/退火”FECVD技术,制备了含一定比例(~0.3)微晶成分的非晶硅膜.它具有较小的深缺陷态密度和较好的稳定性,用以制备的非晶硅单结太阳电池稳定效率达到8.02℅.
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