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该文研究了几种多阳极结构,其单元阳极(或子阳极)为矩形或圆形。还论述了子阳极几何形状及它们的布局对放电的影响,阐明了放电特性与气压、磁场和阳极纵宽比的关系。文中特别讨论了子阳极间通道的作用。离子束出口大小为30×100mm〈’2〉,离子源出口100×m处,束流密度为70μA/cm〈’2〉。可以O〈,2〉,N〈,2〉及Ar为工质,工作气压10〈’-2〉Pa量级,离子源置于真空室中无需任何冷却措施就能正常工作。