【摘 要】
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碳基薄膜作为一种新型的固体润滑材料其结构设计与调控一直是研究的重点与热点。近年来，在利用物理气相沉积法制备金属-碳多元薄膜时发现原位自形成纳米多层结构的奇特现象，这种方法与人工周期性地调节某个沉积参数来制备纳米多层结构的传统制备方法相比更加易于操作。实验探讨了不同CH4/Ar比率对a-C：Cu薄膜的微观结构，尤其是自形成纳米多层结构的影响，并对薄膜的组成及其自形成机制进行了探究。
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州 730000;中国科学院大学, 北京 100049
【出 处】
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第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
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碳基薄膜作为一种新型的固体润滑材料其结构设计与调控一直是研究的重点与热点。近年来，在利用物理气相沉积法制备金属-碳多元薄膜时发现原位自形成纳米多层结构的奇特现象，这种方法与人工周期性地调节某个沉积参数来制备纳米多层结构的传统制备方法相比更加易于操作。实验探讨了不同CH4/Ar比率对a-C：Cu薄膜的微观结构，尤其是自形成纳米多层结构的影响，并对薄膜的组成及其自形成机制进行了探究。
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