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本文提出了一种新型的等离子体基离子注入方法--电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入,介绍了该方法的基本结构和基本原理,采用该方法,进行了硫元素的离子注入,采用X射线光电子能谱深度剥层分析的方法测量了注入硫的深度分布,并采用TRIM程序对注入结果进行了模拟对比分析.
一种新型离子注入方法——电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入研究
【摘 要】
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本文提出了一种新型的等离子体基离子注入方法--电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入,介绍了该方法的基本结构和基本原理,采用该方法,进行了硫元素的离子注入,采用X射线光
【机 构】
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北京航空航天大学机械工程与自动化学院,材料加工与控制系,北京,100083香港城市大学,应用物理及材料系,等离子体实验室,香港,九龙塘,达之路
【出 处】
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2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
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2006年10期
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