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本文建立了一个p-i-n结构的微晶硅薄膜电池模型,利用太阳电池电容模拟软件(简称SCAPS)研究了活性层的厚度、缺陷态浓度及窗口层的掺杂浓度等参数对电池的性能的影响,得到的主要结论如下:(1)活性层的厚度和缺陷态浓度对可见和近红外波段(即中长波段)的光谱响应和电池的Ⅰ-Ⅴ特性有重要影响；(2)窗口层的掺杂浓度主要影响紫外波段(即短波段)的光谱响应和电池的开路电压。