基于MOCVD技术的AlN声表面波谐振器

来源 :第十五届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nqwei

【摘要】

：

基于铌酸锂(LiNbO3)的声表面波(SAW)滤波器件已经在射频移动通讯设备的前端实现了商业化应用。随着移动通讯技术的迅猛发展，基于LiNbO3的SAW工作频率因为声速较小(3400-4000 m/s)和金属叉指线宽受普通光刻精度限制等因素较低，难以满足通讯系统工作频率不断提升的需求。

【作者】

：

杨帅艾玉杰张韵贾利芳孙莉莉张连程哲王军喜李晋闽

【机构】

：

中国科学院半导体研究所

【出处】

：

第十五届全国固体薄膜学术会议

【发表日期】

：

2016年5期

【关键词】

：

AlN 压电薄膜高声速声表面波谐振器

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