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对Si单晶衬底上成长的纳米级Pt薄膜进行了全面的X射线衍射表征,分别研究了薄膜中晶体的取向,薄膜的厚度和薄膜中的应力状态.
PtSi薄膜的X射线衍射表征
【摘 要】
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对Si单晶衬底上成长的纳米级Pt薄膜进行了全面的X射线衍射表征,分别研究了薄膜中晶体的取向,薄膜的厚度和薄膜中的应力状态.
【机 构】
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帕纳科上海应用实验室,上海200233
【出 处】
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帕纳科中国第十届X射线分析仪器用户技术交流会
【发表日期】
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2008年9期
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