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本文提出了一种用衍射效率的特征谱线来判断光栅的形貌的方法。用C方法编写了计算光栅衍射效率的程序，并且借助扫描电子显微镜的照片拟合的结果作为输入参数，计算了光栅衍射效率在不通曝光时间下的光谱分布曲线，并且用此作为判断光栅形貌的判据，得到了很好的结果。
用衍射效率的光谱分布判断多层介质膜光栅掩膜形貌
【摘 要】
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本文提出了一种用衍射效率的特征谱线来判断光栅的形貌的方法。用C方法编写了计算光栅衍射效率的程序，并且借助扫描电子显微镜的照片拟合的结果作为输入参数，计算了光栅衍射效
【机 构】
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苏州大学信息光学工程研究所,215006,苏州
【出 处】
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中国光学学会2004年学术大会
【发表日期】
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2004年期
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