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介绍了基于扫描电镜的电子束曝光机的对准软件设计,详细分析了此类曝光机对准系统的设计方案,软件设计结构以及扫描场的校正过程.
新型电子束曝光机的对准软件设计
【摘 要】
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介绍了基于扫描电镜的电子束曝光机的对准软件设计,详细分析了此类曝光机对准系统的设计方案,软件设计结构以及扫描场的校正过程.
【机 构】
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中国科学院电工研究所,北京,100080
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2005年期
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