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该文介绍了硅基体列阵式通道电子倍增器AT-MCP及其工艺特点，指出了工艺中出现的新现象，展示了其发展前景。
硅基体列阵式通道电子倍增器
【摘 要】
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该文介绍了硅基体列阵式通道电子倍增器AT-MCP及其工艺特点，指出了工艺中出现的新现象，展示了其发展前景。
【机 构】
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光学精密机械学院光电技术研究所
【出 处】
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第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
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1999年9期
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