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CrAlTiN 由于具有较高的硬度、高温抗氧化性能和耐腐蚀性能在硬质薄膜领域得到了广泛的应用.CrTiAlN 是以AlTiN 为基础,通过添加Cr 元素构成的多层复合膜层.相比传统的TiN 薄膜,Al 的加入,可使涂层抗氧化温度提高36％左右；Cr 的引入,显著增强了涂层的韧性,减磨效果明显.论文主要研究了氮气气压对膜层结构、硬度以及摩擦学性能的影响.