真空设备在薄膜产业中的应用

来源 :第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE2015) | 被引量 : 0次 | 上传用户:yhymoon0527
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  KDX 利用真空设备实现光学薄膜的产业化,生产成本低,良率好,生产效率高;利用卷对卷磁控溅射设备生产的ITO、低阻高透导电膜、窗膜等产品.ITO产品已普遍用于小尺寸触控屏,无色差,易加工;低阻高透导电膜可实现方阻6-10Ω/□,透过率>86%,其用于生产42 寸以上大尺寸触控屏,实现包括引线全导电膜制程,最多32 点触控;磁控溅射窗膜可实现紫外阻断和红外反射的功能,用于汽车和建筑玻璃贴膜.磁控溅射结合原子沉积技术,可实现柔性材料的封装.蒸镀设备可实现超高水汽阻隔率的镀膜检测.
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