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本文介绍了几种CIF格式中圆形切割成PG3600格式所需矩形的算法,并对几种算法从数据大小、重复曝光和算法难易方面进行了比较分析,最后为编写格式转换软件找出了最优的算法.
CIF格式中圆形切割成3600格式中矩形的算法研究
【摘 要】
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本文介绍了几种CIF格式中圆形切割成PG3600格式所需矩形的算法,并对几种算法从数据大小、重复曝光和算法难易方面进行了比较分析,最后为编写格式转换软件找出了最优的算法.
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2005年4期
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