【摘 要】
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本文介绍了以CPLD(ComplexProgrammableLogicDevice,复杂可编程逻辑器件)和高精度数模转换芯片为核心器件构成的电子束曝光机定位误差实时补偿系统.着重讲述了使用CPLD对误差信号的变换过程、高精度D/A的使用.给出了Verilog程序源程序并讲述其处理过程.分析了本电子束曝光机定位误差实时补偿系统的特点.
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
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本文介绍了以CPLD(ComplexProgrammableLogicDevice,复杂可编程逻辑器件)和高精度数模转换芯片为核心器件构成的电子束曝光机定位误差实时补偿系统.着重讲述了使用CPLD对误差信号的变换过程、高精度D/A的使用.给出了Verilog程序源程序并讲述其处理过程.分析了本电子束曝光机定位误差实时补偿系统的特点.
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