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该文从ＳＩＡ的硅微电子技术发展构图出发，在器件及其结构、工艺技术、集成电路各方面阐述了硅微电子技术在未来１５年内的发展趋势，分析了它的发展极限及未来。
９５展望硅微电子技术发展趋势
【摘 要】
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该文从ＳＩＡ的硅微电子技术发展构图出发，在器件及其结构、工艺技术、集成电路各方面阐述了硅微电子技术在未来１５年内的发展趋势，分析了它的发展极限及未来。
【机 构】
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微电子技术研究所
【出 处】
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第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
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1995年期
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