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细光栅小型直读光栅系统光栅信号特性探讨
【机 构】
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贵阳光电技术研究所
【出 处】
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中国仪器仪表学会精密机械学会精密机械系统与元件设计专委会第二届学术会
【发表日期】
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1989年期
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