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一种新型栅结构微机械陀螺的设计和制作
一种新型栅结构微机械陀螺的设计和制作
来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cin_long
【摘 要】
:
本文报导了一种新型栅结构微机械陀螺的设计及制作,对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响,对陀螺的制作进行了讨论.理论分析表明,
【作 者】
:
熊斌
中国科学院上海冶金研究所
黄小振
王跃林
【机 构】
:
传感技术国家重点实验室
【出 处】
:
第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
栅结构
微机械陀螺
理论分析
设计及制作
驱动频率
品质因子
结构参数
工作特性
大气状态
灵敏度
分析表
带宽
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本文报导了一种新型栅结构微机械陀螺的设计及制作,对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响,对陀螺的制作进行了讨论.理论分析表明,在大气状态下,新型栅结构微机械陀螺的驱动频率为2.85KHz时,其带宽可达到32Hz,品质因子Q可达到150.
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