【摘 要】
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对在柔性衬底非晶硅太阳电池中有重要应用的Ag/ZnO复合背反射镜进行了研究。利用Ag靶和ZnO∶Al合金靶,在不锈钢衬底上采用射频磁控溅射法制备了Ag/ZnO背反射镜。首先研究了衬
【机 构】
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上海空间电源研究所,上海 200233
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对在柔性衬底非晶硅太阳电池中有重要应用的Ag/ZnO复合背反射镜进行了研究。利用Ag靶和ZnO∶Al合金靶,在不锈钢衬底上采用射频磁控溅射法制备了Ag/ZnO背反射镜。首先研究了衬底温度对ZnO膜透过率、电阻率和沉积速率的影响,确定了最优的衬底温度。其次,研究了不锈钢衬底上Ag/ZnO背反射镜表面形貌对电池参数的影响。最后,通过对背反射镜和非晶硅薄膜的工艺条件进行优化,制备出包含Ag/ZnO背反射镜的不锈钢衬底nip非晶硅单结太阳电池,其短路电流密度比不含背反射镜电池提高21％,效率达到8.5％(AM0,25℃)。
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