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本文研究了利用磁控溅射技术制备高质量的ZnO薄膜,并通过退火等处理方式,来提高材料的各项性能.并同时应用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)及X射线光电子能谱等技术来表征所制备的材料的各项性能。
紫外吸收增强的硅基ZnO薄膜的制备及研究
【摘 要】
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本文研究了利用磁控溅射技术制备高质量的ZnO薄膜,并通过退火等处理方式,来提高材料的各项性能.并同时应用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)及X射线光电子能谱等技术来表
【机 构】
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厦门大学萨本栋微机电研究中心,厦门,361005
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2005年期
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