柔性基材磁控溅射镀膜产品及技术开发

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<正>柔性基材真空镀膜产品由于轻薄、可弯曲、功能化的特点被广泛应用于包装、节能环保、显示、电子、航空航天等领域。磁控溅射技术是柔性基材表面功能化薄膜制备的重要手段,一直以来只有少数国家掌握其制造技术,核工业西南物理研究院自主研发的隔热膜示范生产线实现了大面积磁控溅射源镀膜宽幅1500 mm范围,膜层均匀性达到±2%,解决了柔性卷绕系统等关键部件的技术难点,成功实现了大面积柔性磁控溅射卷绕镀膜机的设计开发及制备,并完成了多个系列隔热膜产品的批量生产及销售,实
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