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柔性机构是利用组成元素间的相对柔性来获得运动或力的一类机构。本论文从微小型柔性结构设计这一当前微型机械研究领域的热点出发，探讨了利用结构拓扑优化方法设计柔性结构的具体方法。论文以有限元法为工具，根据柔性结构设计的具体情况，提出利用多目标优化的方法建立模型进行求解，并对优化结果进行运动学虚拟仿真，取得了较好的设计结果。