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Molecular Dynamics Simulation of LiNbO3 thin films thickness distribution regulation
Molecular Dynamics Simulation of LiNbO3 thin films thickness distribution regulation
来源 :第十五届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:eclipse
【摘 要】
:
LiNbO3 is a widely researched optic-electric crystal which possess plenty of fundamental research results.
【作 者】
:
Yue Liu
Zichang Zhang
Yongfa Kong
【机 构】
:
CollegeofMaterialsScienceandEngineering,LiaoningTechnicalUniversitySchoolofPhysicsScience,NankaiUniv
【出 处】
:
第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
:
2016年12期
【关键词】
:
LiNbO3 thin films
plasma
molecular dynamics
film thickness
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LiNbO3 is a widely researched optic-electric crystal which possess plenty of fundamental research results.
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