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本文介绍一种高亮度GaN基蓝光LED芯片,首先研究其光电特性,通过测量I-Ⅴ曲线判定该芯片的良好二极管特性,在电流大于100 mA时即呈现串联电阻性.当通入不同强度大小的电流时,光功率与半波宽度随电流增大呈亚线性关系,随着输入电流增加,芯片发光谱出现蓝移现象;其次进行可靠性验证,在经过48 h,288 h老化后,光衰分别变为95.02%、93.42%,证明了该芯片具有很好的光衰稳定性.最后研究了ICP/PECVD工艺在不同条件下,功率、温度、厚度分别对芯片稳定性的影响,对于实现高亮度LED芯片的高稳定性品质具有指导意义.