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准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着广泛的应用前景，用该技术制作的微结构具有深宽比大，精度高及工艺简化等特点。作者对准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用进行了初步探讨。
准分子激光刻蚀技术在微机械中应用初探
【摘 要】
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准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着广泛的应用前景，用该技术制作的微结构具有深宽比大，精度高及工艺简化等特点。作者对准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用进行了初步探讨。
【机 构】
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科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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