Effects of TMAH Treatment on Sn Solder Joint Reliability

来源 :中国物理学会2013年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hfzxl
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  Due to its MOS compatibility and good anisotropic etching characteristics,tetramethyl ammonium hydroxide(TMAH)has been widely used to get high precision bulk micromachining of silicon,which is a key process step to shape spatial structures for fabricating different type of microsensors and microactuators.
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